高純氧氣主要用于標(biāo)準(zhǔn)氣配制，安徽氣體，集成電路和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)，氣體批發(fā)，氣體火焰加工。
對(duì)于MOS場(chǎng)效應(yīng)器件，氧化層必須相當(dāng)致密。與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相淀積；作為氧化源和產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；采用高純氧氣進(jìn)行干法氧化，其氧化層結(jié)構(gòu)致密，正電荷少，耐壓高。還用于金屬的切割和焊接、煉鋼、國(guó)防、電子、化工、冶金等部門。
氧氣是一種化學(xué)性質(zhì)比較活潑的無色無味的氣體，氣體報(bào)價(jià)，它可以與金屬、非金屬、化合物等多種特物質(zhì)發(fā)生氧化反應(yīng)，反應(yīng)劇烈程度因條件不同而異，可表現(xiàn)為緩慢氧化、燒、爆等，反應(yīng)中放出大量的熱。
1、無色氣體 2、能溶于水 3、密度比空氣大 ρ＝1.977g/l 4、干冰—固態(tài)CO2易升華
化學(xué)性質(zhì)
1、既不能燃燒，也不支持燃燒 2、CO2不能供給呼吸
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